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渦輪分子泵的使用與維護(hù)

發(fā)布時(shí)間:2012-09-07 14:31:10
 

渦輪分子泵的使用與維護(hù)
其傾斜不超過5°;
1泵應(yīng)水平安置。>
2注意泵的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)防線要正確;
3運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)先接通冷卻水,停泵后及時(shí)關(guān)閉冷卻水;
4經(jīng)常檢查泵潤滑測(cè)振儀油的油量和油質(zhì),定期補(bǔ)油和換油;
5粗抽泵預(yù)抽到一定預(yù)真空度后才干啟動(dòng)分子泵;
6運(yùn)轉(zhuǎn)過程中,不允許流露大氣,不允許異物落入泵內(nèi);
7為防止頻繁地開機(jī)動(dòng)平衡儀、關(guān)機(jī)對(duì)分子泵軸承壽命的影響,等待狀態(tài)分子泵應(yīng)低速運(yùn)轉(zhuǎn);
8需要對(duì)泵體進(jìn)行烘烤時(shí),其溫度不超過100℃
9分子泵停機(jī)后,當(dāng)轉(zhuǎn)速不低于工作轉(zhuǎn)速的1/2之前應(yīng)向分子泵中放氣。

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