被檢容器容積較小時(shí)，超聲波檢漏儀可以直接接到質(zhì)譜檢漏儀上去進(jìn)行檢漏。但是當(dāng)被檢容器的容積在100m以上時(shí)，由于容積大，氣量多，表面積大，放氣多，漏孔也可能較多，超聲波檢漏儀若直接用質(zhì)譜檢漏儀的抽氣系統(tǒng)來(lái)抽，可能長(zhǎng)時(shí)間也抽不上去，使得檢漏儀無(wú)法工作。即使長(zhǎng)時(shí)間抽氣后能達(dá)到質(zhì)譜儀工作壓力，然后其反應(yīng)時(shí)間太長(zhǎng)，也難以實(shí)現(xiàn)檢漏。因此需要加一個(gè)輔助系統(tǒng)，檢漏時(shí)，先用輔助泵將被檢容器抽到低真空后再用次級(jí)泵（擴(kuò)散泵）抽，超聲波檢漏儀次級(jí)泵正常工作后，打開(kāi)檢漏儀的節(jié)流閥，使被檢容器通過(guò)輔助系統(tǒng)與已抽至極限真空的檢漏儀相連，此時(shí)檢漏儀抽氣系統(tǒng)與輔助泵一起作次級(jí)泵的前級(jí)，調(diào)節(jié)節(jié)流閥使檢漏儀處于工作壓力下然后進(jìn)行檢漏。檢漏時(shí)，如節(jié)流閥能全部打開(kāi)且輔助閥能全部關(guān)閉最后，此時(shí)漏入系統(tǒng)的氦氣能全部通過(guò)檢漏儀，其靈敏度最高，一般情況都是輔助閥即不能全關(guān)，節(jié)流閥也不能完全打開(kāi)，因此靈敏度要低很多。

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