超聲波檢漏儀目前質(zhì)譜檢漏多數(shù)采用以低壓高速蒸氣流作為工作介質(zhì)（油）的氣體運(yùn)量傳輸泵---油擴(kuò)散泵。它是氦質(zhì)譜檢漏儀獲得高真空的主要設(shè)備，其主要特點(diǎn)是抽氣能力大，抽速范圍寬，對所抽氣體（包括惰性氣體）無選擇，結(jié)構(gòu)簡單，沒有機(jī)械運(yùn)動部分，操作簡單，便于維護(hù)，壽命長，因擴(kuò)散泵油的冷卻方式不同，可分兩種型式，超聲波檢漏儀即風(fēng)冷與水冷，在氦質(zhì)譜檢儀中多數(shù)使用“風(fēng)冷式油擴(kuò)散泵”。油擴(kuò)散泵使用時(shí)氦必須配簽好字真空泵。

油擴(kuò)散泵的工作過程是當(dāng)油鍋中的泵油子啊真空中被加熱到沸騰溫度（約200℃）時(shí)，產(chǎn)生大量地油蒸汽，經(jīng)導(dǎo)管由各級噴嘴定向高速噴出。由于進(jìn)氣口的附近（和一級噴嘴上方）被抽氣體的分壓力高于蒸汽流中的被抽氣體的分壓力，所以，被抽氣體分子就不斷地?cái)U(kuò)散到蒸汽流中，這時(shí)被抽氣氣體和油蒸氣產(chǎn)生碰撞，使被抽氣體接近蒸汽流動速度被帶回泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中被重新加熱，如此循環(huán)工作。由于工作原理使擴(kuò)散泵工作必須預(yù)熱20~45min，停止時(shí)冷卻20~45min，它在檢漏工作中帶來不少麻煩。超聲波檢漏儀目前用渦輪分子泵來代替一般氦質(zhì)譜檢漏儀中的擴(kuò)散泵，其優(yōu)點(diǎn)是：

（1）在質(zhì)譜室中無碳?xì)浠臀锏奈廴?/p>

（2）將儀器的啟動與停止時(shí)間減至最小

（3）由于渦輪分子泵不變的氦壓縮比，可得到很穩(wěn)定的漏率指示。

（4）可以在任意位置安裝，這樣可以采用節(jié)省空間的安裝方式.

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